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Apr 23, 2008 07:54
16 yrs ago
English term
post-implantation annealing
English to German
Tech/Engineering
Electronics / Elect Eng
Oberflächenbehandlung
Nach der "ion implantation", also der Ionenimplantation wird der Prozessschritt des *post-implantation annealing* angewendet. Wie lautet der deutsche Begriff?
Proposed translations
(German)
4 | Ausheilen nach der (Ionen-)Implantation | sci-trans |
3 | Nachglühen, Abschlussglühbehandlung | Schtroumpf |
2 | Aktivierung implantierter Ionen | Thomas Schnepp |
Change log
Apr 23, 2008 13:43: Steffen Walter changed "Field (specific)" from "Mechanics / Mech Engineering" to "Electronics / Elect Eng"
Proposed translations
16 mins
Aktivierung implantierter Ionen
Declined
siehe Link; dort wird ein Verfahren beschrieben, das hier zutreffen könnte.
1 hr
Nachglühen, Abschlussglühbehandlung
Declined
Das ist zunächst mal das, was im Quelltext ausgesagt wird :-)
5 hrs
Ausheilen nach der (Ionen-)Implantation
Declined
Bei der Ionenimplantation entstehen Strahlenschäden im Kristallgitter des Wafers. Um diese zu beseitigen, muss der Wafer zur "Ausheilung" (annealing) über längere Zeit getempert werden.
Quellen
Ausheilen (Annealing)
http://www.imtek.de/anwendungen/content/upload/vorlesung/200...
http://de.wikipedia.org/wiki/Ionenimplanter
Quellen
Ausheilen (Annealing)
http://www.imtek.de/anwendungen/content/upload/vorlesung/200...
http://de.wikipedia.org/wiki/Ionenimplanter
Discussion