This question was closed without grading. Reason: Answer found elsewhere
Apr 23, 2008 07:54
16 yrs ago
English term

post-implantation annealing

English to German Tech/Engineering Electronics / Elect Eng Oberflächenbehandlung
Nach der "ion implantation", also der Ionenimplantation wird der Prozessschritt des *post-implantation annealing* angewendet. Wie lautet der deutsche Begriff?
Change log

Apr 23, 2008 13:43: Steffen Walter changed "Field (specific)" from "Mechanics / Mech Engineering" to "Electronics / Elect Eng"

Discussion

sci-trans May 8, 2008:
@ MichaB: Wie lautet denn nun der "richtige" deutsche Terminus?
MichaB (asker) Apr 23, 2008:
Hallo, es geht bei den Prozessschritten um die Behandlung von SiC, ob das in Form von Wafern vorliegt, geht aus dem Text nicht hervor, ist aber wahrscheinlich!
Schtroumpf Apr 23, 2008:
Könnte es sein, dass manche Leute hier mehr über den Kontext wissen als ich? sci-trans ist bei Wafer, ich bin bei Oberflächenbehandlung - bitte Micha, kannst du erstmal angeben, worum es hier geht? Danke ;-)
Schtroumpf Apr 23, 2008:
Glaubst du, dass das etwas Besonderes ist? Ich würde einfach Nachglühen oder Abschlussglühbehandlung oder so etwas schreiben. Kommt eben nach der Ionenbehandlung, das ist alles denk ich.

Proposed translations

16 mins

Aktivierung implantierter Ionen

Declined
siehe Link; dort wird ein Verfahren beschrieben, das hier zutreffen könnte.
Something went wrong...
1 hr

Nachglühen, Abschlussglühbehandlung

Declined
Das ist zunächst mal das, was im Quelltext ausgesagt wird :-)
Something went wrong...
5 hrs

Ausheilen nach der (Ionen-)Implantation

Declined
Bei der Ionenimplantation entstehen Strahlenschäden im Kristallgitter des Wafers. Um diese zu beseitigen, muss der Wafer zur "Ausheilung" (annealing) über längere Zeit getempert werden.

Quellen

Ausheilen (Annealing)
http://www.imtek.de/anwendungen/content/upload/vorlesung/200...

http://de.wikipedia.org/wiki/Ionenimplanter
Something went wrong...
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