"rate": en ingeniería química, es variación de alguna dimensión por unidad de tiempo, y normalmente se traduce como velocidad, salvo que haya jerga establecida más exacta dependiendo de cual sea la dimensión (volumen >> caudal).

"vacuum rate": "velocidad de aumento del vacío" (o de disminución, según el contexto; en este caso es de aumento). En forma genérica: "velocidad de variación del vacío".

"velocidad de aspirado" no es del todo correcto porque técnicamente se aplica a caudal de gases aspirados, en litros/min (u otras unidades de volumen por unidad de tiempo), aunque sería entendible. "Vacuum" en este contexto indica el grado de vacío, medido en presión, y su variación, en variación de presión por unidad de tiempo.

"target rate of attainment":
"attainment" no se traduce en forma directa como una palabra única, sino que habitualmente se adapta al contexto y a veces se omite, por ser redundante en español con "meta" (referencia: ver primeros ejemplos en https://www.linguee.com/english-spanish/search?il=EN&tool=op... ).

La traducción que se lee de manera más natural, y con la jerga habitual de ingeniería química, es:
"velocidad objetivo": La velocidad objetivo de este parámetro en la primera planta... (ejemplo: pag. 98 de https://issuu.com/publicasl/docs/tl-365 o https://core.ac.uk/download/pdf/79176922.pdf). "velocidad meta" también es aceptable, pero es menos habitual.

Utilizar "nivel de vacío..." es incorrecto, porque el nivel de vacío es el grado de vacío y se mide en mBar, y no es la variación del nivel de vacío por unidad de tiempo, que es de lo que se está hablando.