Glossary entry (derived from question below)
English term or phrase:
spin-on hardmask
French translation:
masque dur recouvert par centrifugation
Added to glossary by
GILLES MEUNIER
Dec 3, 2013 14:09
10 yrs ago
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English term
spin-on hardmask
English to French
Science
Patents
matériaux / procédés
materials used in photolithography, spin-on hardmasks, photoresists
Proposed translations
(French)
4 +1 | masque dur recouvert par centrifugation | GILLES MEUNIER |
4 | masque dur déposé par rotation | Bertrand Leduc |
4 | masque dur bien mélangé/centrifugé | HERBET Abel |
References
Centrifugation en français | Didier Fourcot |
Change log
Dec 10, 2013 06:28: GILLES MEUNIER Created KOG entry
Proposed translations
+1
12 mins
Selected
masque dur recouvert par centrifugation
La présente invention concerne un procédé de retrait humide qui n'endommage pas un substrat lorsqu'un masque dur organique recouvert par centrifugation, utilisé pendant l'étape de traitement du substrat à semi-conducteurs dans la production du dispositif à semi-conducteurs, est retiré du substrat
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Comment: "Merci pour votre réponse et merci à Didier pour ses références très utiles!"
3 hrs
masque dur déposé par rotation
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Note added at 3 hrs (2013-12-03 17:51:19 GMT)
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Matériau de masque dur déposé par rotation
http://www.google.com/patents/WO2013117908A1?cl=fr
Spin on hard-mask material
http://www.google.com/patents/WO2013117908A1?cl=en
3 hrs
masque dur bien mélangé/centrifugé
je pense
Reference comments
20 hrs
Reference:
Centrifugation en français
Deux thèses ci-dessous sur le sujet
Reference:
http://hal.archives-ouvertes.fr/docs/00/18/09/07/PDF/These-Pauline-Voisin-version-definitive.pdf
http://hal.inria.fr/docs/00/71/42/69/PDF/These_Julien-DUCOTE_2010.pdf
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