Glossary entry

English term or phrase:

spin-on hardmask

French translation:

masque dur recouvert par centrifugation

Added to glossary by GILLES MEUNIER
Dec 3, 2013 14:09
10 yrs ago
1 viewer *
English term

spin-on hardmask

English to French Science Patents matériaux / procédés
materials used in photolithography, spin-on hardmasks, photoresists
Change log

Dec 10, 2013 06:28: GILLES MEUNIER Created KOG entry

Proposed translations

+1
12 mins
Selected

masque dur recouvert par centrifugation

La présente invention concerne un procédé de retrait humide qui n'endommage pas un substrat lorsqu'un masque dur organique recouvert par centrifugation, utilisé pendant l'étape de traitement du substrat à semi-conducteurs dans la production du dispositif à semi-conducteurs, est retiré du substrat
Peer comment(s):

agree Didier Fourcot : La littérature française utilise plutôt centrifiugation, je pense que les "rotations" touvées en référence sont des erreurs de traduction de documents anglais, voir références
20 hrs
Something went wrong...
4 KudoZ points awarded for this answer. Comment: "Merci pour votre réponse et merci à Didier pour ses références très utiles!"
3 hrs

masque dur déposé par rotation



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Note added at 3 hrs (2013-12-03 17:51:19 GMT)
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Matériau de masque dur déposé par rotation
http://www.google.com/patents/WO2013117908A1?cl=fr

Spin on hard-mask material
http://www.google.com/patents/WO2013117908A1?cl=en
Something went wrong...
3 hrs

masque dur bien mélangé/centrifugé

je pense
Something went wrong...

Reference comments

20 hrs
Reference:

Centrifugation en français

Deux thèses ci-dessous sur le sujet
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