est ouverte en faisant circuler un gaz d'ouverture de masque dur comprenant un composant COS dans la chambre de plasma, en formant un plasma à partir du gaz d'ouverture de masque dur et en interrompant l'écoulement du gaz d'ouverture de masque dur. La couche de masque dur peut être constituée de carbone amorphe ou de carbone déposé par centrifugation, et le gaz d'ouverture de masque dur peut en outre comprendre du O2